Turbomolecular
Turbomolecular Vacuum Pump หรือปั๊มสุญญากาศแบบเทอร์โบโมเลกุลาร์ เป็นปั๊มสุญญากาศระดับสูง (High to Ultra-High Vacuum) ที่พัฒนาขึ้นในปี ค.ศ. 1958 โดยนักฟิสิกส์ชาวเยอรมัน Willi Becker เพื่อรองรับงานวิจัยฟิสิกส์นิวเคลียร์และเทคโนโลยีสุญญากาศขั้นสูง หลักการทำงานอาศัยโรเตอร์ความเร็วสูงมาก (หลายหมื่นรอบต่อนาที) ที่มีใบพัดเรียงซ้อนหลายชั้น เมื่อโมเลกุลของก๊าซชนกับใบพัดที่หมุนด้วยความเร็วสูง พลังงานจลน์จะถูกถ่ายทอดไปยังโมเลกุล ทำให้เคลื่อนที่ไปยังทิศทางด้านจ่าย เกิดการลำเลียงก๊าซลงสู่ปั๊มหลัก (Backing Pump) อย่างต่อเนื่อง กลไกนี้ทำงานได้ดีที่สุดในสภาวะที่ความดันต่ำมาก ซึ่งการไหลของก๊าซอยู่ในช่วง Molecular Flow
องค์ประกอบหลักของ Turbomolecular Pump ประกอบด้วยชุดโรเตอร์–สเตเตอร์หลายขั้นตอน มอเตอร์ความเร็วสูง ระบบลูกปืน (Ball Bearing หรือ Magnetic Bearing) ระบบควบคุมความเร็ว และต้องทำงานร่วมกับปั๊มสุญญากาศขั้นต้น เช่น Rotary Vane หรือ Screw Pump เพื่อสร้างสภาวะเริ่มต้น ปั๊มชนิดนี้สามารถสร้างสุญญากาศได้ลึกถึงระดับ 10⁻⁷ ถึง 10⁻¹⁰ mbar ขึ้นอยู่กับการออกแบบและสภาพระบบ จึงถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรม Semiconductor, Vacuum Coating, Surface Analysis, Electron Microscopy, Mass Spectrometry และงานวิจัยทางฟิสิกส์พลังงานสูง ด้วยความสามารถในการสร้างสุญญากาศลึกมาก เสถียรภาพสูง และควบคุมสภาพแวดล้อมระดับโมเลกุล Turbomolecular Pump จึงเป็นหัวใจของระบบสุญญากาศขั้นสูงในห้องปฏิบัติการและอุตสาหกรรมเทคโนโลยีชั้นนำทั่วโลก
แบรนด์ และ ซีรีย์
ที่อยู่ในหมวดหมู่นี้
ที่ Flowbite เรามุ่งเน้นไปที่ตลาดที่เทคโนโลยี นวัตกรรม และทุนสามารถปลดล็อกมูลค่าในระยะยาวได้
TMP-B300
Max Main inlet pumping speed (l/s) Nitrogen (280 l/s), Hydrogen (220 l/s), Helium (270 l/s) Max Ultimate pressure 1.0x10−8 Pa
TMP-X
Max Main inlet pumping speed (ml/min) 800 (TMP-X) Max Ultimate pressure 1.0x10−7Pa
TMP-V
Max Main inlet pumping speed (ml/min) 1500 (TMP-V) Max Ultimate pressure 1.0x10−7Pa
TMP (M/LMC/MC/LM)
Max Main inlet pumping speed (l/s) Nitrogen (1080 l/s), Hydrogen (790 l/s), Helium (930 l/s) Max Ultimate pressure 1.0x10−9 Pa
TMP 1303-4304
Max Main inlet pumping speed (ml/min) Argon (2200 ml/min) Max Ultimate pressure 1.0x10−7 Pa
TMP 1103(LMP/LMPC/MP/MPC)
Max Main inlet pumping speed (l/s) Nitrogen (1080 l/s), Hydrogen (800 l/s), Helium (1040 l/s) Max Ultimate pressure 1.0x10−9 Pa