Cryogenic Vacuum Pump หรือที่เรียกว่า Cryopump เป็นปั๊มสุญญากาศระดับสูงถึงระดับอัลตราสูง (High to Ultra-High Vacuum) ที่ทำงานด้วยหลักการ “ดักจับโมเลกุลก๊าซด้วยความเย็นจัด” แทนการอัดหรือการลำเลียงก๊าซออกจากระบบ เทคโนโลยีนี้เริ่มพัฒนาอย่างจริงจังในช่วงทศวรรษ 1950-1960 เพื่อรองรับงานวิจัยด้านอวกาศ ฟิสิกส์พลังงานสูง และอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยอาศัยการทำความเย็นด้วยก๊าซฮีเลียมในระบบวงจรปิด (Closed-cycle Helium Refrigeration) ทำให้อุณหภูมิพื้นผิวภายในปั๊มลดต่ำถึงระดับประมาณ 10-20 เคลวิน (-250°C ถึง -253°C) หลักการทำงานของ Cryopump แบ่งออกเป็นสองกลไกหลัก คือ Cryocondensation (การควบแน่นของก๊าซบนพื้นผิวเย็นจัด) และ Cryosorption (การดูดซับก๊าซบนวัสดุพรุนที่ถูกทำให้เย็น) เมื่อโมเลกุลของก๊าซสัมผัสพื้นผิวที่มีอุณหภูมิต่ำมาก จะสูญเสียพลังงานและถูกดักจับไว้บนผิวภายในปั๊ม

องค์ประกอบหลักประกอบด้วย Cryocooler หรือ Cold Head, แผงดักจับก๊าซ (Cryopanels), ระบบฉนวนสุญญากาศ และชุดควบคุมอุณหภูมิ Cryogenic Pump ต้องทำงานร่วมกับปั๊มขั้นต้น (Backing Pump) เพื่อสร้างสุญญากาศเริ่มต้นก่อนเข้าสู่ช่วง Molecular Flow ปั๊มชนิดนี้สามารถสร้างสุญญากาศได้ลึกถึงระดับ 10⁻⁸ ถึง 10⁻¹¹ mbar และมีข้อดีคือไม่มีน้ำมันหรือกลไกหมุนความเร็วสูงภายในห้องสุญญากาศ จึงให้สภาพแวดล้อมที่สะอาดมาก เหมาะสำหรับอุตสาหกรรม Semiconductor, Vacuum Coating, เครื่องเร่งอนุภาค, ห้องทดลองฟิสิกส์ และระบบจำลองสภาพอวกาศ ด้วยความสามารถในการสร้างสุญญากาศลึกมากและควบคุมการปนเปื้อนได้ดี Cryogenic Vacuum Pump จึงเป็นหนึ่งในเทคโนโลยีสุญญากาศขั้นสูงที่สำคัญที่สุดในงานวิจัยและอุตสาหกรรมเทคโนโลยีระดับโลก